Sell hexafluoroethane gas @China (Mainland)

Purity Grade  customized

Formula  C2F6

Application

Hexafluoroethane is used as a versatile etchant in semiconductor manufacturing. It can be used for selective etching of metal silicides and oxides versus their metal substrates and also for etching of silicon dioxide over silicon.Together with trifluoromethane it is used in refrigerants R508A (61%) and R508B (54%).

Molecular Weight  138.01g /mol

Alternative name  Carbon hexafluoride,1,1,1,2,2,2-Hexafluoroethane,Perfluoroethane, Ethforane, Halocarbon 116, PFC-116, CFC-116, R-116, Arcton 116, Halon 2600

CAS No. 76-16-4

Package  N/A

Post by Damon Huang    Chemicals    @2012-08-07 14:05:31